我們生活中用到的電子設(shè)備,、如手機(jī),、電腦,、電視都是依賴于各種芯片,。而每個(gè)芯片的核心是一個(gè)圓片,，它是從各種圓片上切割下來的,。晶圓本身存在良率問題,，晶圓表面也可能存在各種缺陷,。為了防止有缺陷的晶圓流入后續(xù)封裝過程,，必須使用光學(xué)檢測設(shè)備對晶圓表面缺陷進(jìn)行識(shí)別,、分類和標(biāo)記，并輔助晶圓分揀,。那么接下來我們就來說說機(jī)器視覺檢測晶圓的解決方案,。

【測量需求】

1.晶圓三維表面形貌

2.晶圓表面缺陷

【檢測步驟】

1.固定晶圓樣品至FocalStation測量臺(tái)，并進(jìn)行機(jī)械原點(diǎn)歸位;

2.在FS軟件中設(shè)置掃描參數(shù),，開始掃描并等待任務(wù)完成;

3.數(shù)據(jù)預(yù)處理,，包含校平、光學(xué)降噪等;

4.分析與報(bào)告;

【晶圓表面缺陷檢測優(yōu)勢】

1.設(shè)備特點(diǎn)：特殊膜片自動(dòng)送料機(jī)構(gòu),。

2.檢測精度：精度可達(dá)微米級(jí),。

3.檢測效率：檢測速度可達(dá)每分鐘1200個(gè)。

4.主要功能：檢測長,、寬,、高、直徑,、混合,、變形、缺料,、毛刺,、黑點(diǎn)、劃痕,、污點(diǎn)等

5.適用范圍：適用于橡膠圈,、螺絲、螺母,、汽車配件,、手機(jī)配件、不銹鋼、鋁,、塑料,、磁性材料、五金配件,、電子產(chǎn)品等設(shè)備的檢測,。

6.非接觸式測量：由于不會(huì)損壞觀察者或觀察者，提高了系統(tǒng)的可靠性,。

7.機(jī)器視覺解決方案可以節(jié)省大量勞動(dòng)力,，大大提高生產(chǎn)效率。

8. 寬光譜響應(yīng)范圍,。例如,，使用人眼不可見的紅外測量可以擴(kuò)大人眼的可視范圍。

9.長期穩(wěn)定工作：雖然人類很難長時(shí)間觀察同一物體,，但機(jī)器視覺可以長時(shí)間執(zhí)行測量,、分析和識(shí)別任務(wù)。

總結(jié) 機(jī)器視覺檢測可以很好的替代人工實(shí)現(xiàn)缺陷的檢測,、提高工作的效率,。杭州國辰擁有6年的工作經(jīng)驗(yàn)，幫助很多企業(yè)實(shí)現(xiàn)機(jī)器替代人工的方案實(shí)施,。